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作为晶圆代工行业中最重要的即将交付进光产品,光刻机的世界首位优秀与否将决定制程工艺的先进性,而目前在EUV领域,最先毫无疑问ASML成为了绝对的刻机客户巨头,几乎垄断了EUV光刻机的英特生产与研发。广大晶圆代工巨头也等待着ASML推出的尔成新一代光刻机来提升自己的代工实力。目前ASML表示自家目前最先进的即将交付进光光刻机TWINSCAN EXE:5200即将交付给客户,从而为2nm等更加先进的世界首位工艺提供前有力的硬件保证。
ASML目前已经确认将会在不久之后正式交付新一代的EUV光刻机也就是TWINSCAN EXE:5200,这款光刻机是刻机客户TWINSCAN EXE:5000的强化版,ASML表示全新的英特TWINSCAN EXE:5200光刻机最高可以实现每小时185片晶圆的制造,为今后2nm等制程提供坚实的尔成硬件基础。
ASML称目前的即将交付进光之前光刻机的孔径透镜精度为0.33,而到了TWINSCAN EXE:5200以及TWINSCAN EXE:5000,世界首位孔径透镜精度达到了0.55,最先相比较上一代产品有着极为明显的提升,不过由于技术的提升,每一台光刻机的售价也是达到了相当惊人的程度,据悉TWINSCAN EXE:5000的单价可以达到3.5亿欧元,相当于26.3亿人民币,而TWINSCAN EXE:5200的报价显然更高。
目前英特尔已经宣布将会成为首位采用TWINSCAN EXE:5200光刻机的客户,用于新一代制程晶圆的制造,就是不知道在采用先进光刻机之后,英特尔晶圆代工能否打个翻身仗。